多晶硅還原爐生產(chǎn)中發(fā)生倒棒現(xiàn)象是多晶硅生產(chǎn)企業(yè)所不愿看見的,特別是大型還原爐(18對棒/24對棒),還原爐的倒棒將會造成一系列的危害。
還原爐發(fā)生倒棒現(xiàn)象將會導(dǎo)致沒有完成一個完整的生產(chǎn)周期時間,硅棒沒有長至預(yù)期的規(guī)格而被迫強制進行停爐過程操作,繼而重新安裝硅芯進行下一爐的生產(chǎn),在此過程中將造成企業(yè)的實際產(chǎn)量降低,設(shè)備受損及增加操作工人的勞動強度等。
若還原爐倒棒發(fā)生在硅棒沉積的開始階段,因為在硅棒增長前期,硅棒的沉積生長較為緩慢,而后期硅棒增長較快,此時倒棒使得必須按照停車步驟使得整個還原爐系統(tǒng)停車后,待爐內(nèi)達到開爐條件狀況下操作工人進行拆爐,拆卸并重新安裝硅芯,進行下一個生產(chǎn)周期的操作。這將導(dǎo)致生產(chǎn)過程中降低有效的生產(chǎn)時間,使得企業(yè)的實際產(chǎn)量降低,造成現(xiàn)場操作工人繁重的勞動和很大的經(jīng)濟損失。?
若倒棒發(fā)生在后期即將停爐階段,爐內(nèi)的倒棒可能導(dǎo)致較為嚴(yán)重的后果,此時硅棒直徑較大,在爐內(nèi)的倒塌使得熾熱的硅棒在側(cè)倒過程中砸向鐘罩爐子內(nèi)壁,使得爐子的內(nèi)壁遭到嚴(yán)重破壞,同時還可能使得爐子的電極受到外力的破壞,更換電極工作量非常大,需要耗費大量的人力物力,而且會耽誤大量的工作時間,進而導(dǎo)致巨大的經(jīng)濟損失,甚至有可能造成意外的事故及人身傷害。?
因此非常有必要對實際生產(chǎn)過程中還原爐生產(chǎn)過程中發(fā)生的倒棒現(xiàn)象進行總結(jié)分析,從而降低甚至避免這一現(xiàn)象的發(fā)生,減少勞動強度,提高生產(chǎn)效率,增加經(jīng)濟效益。